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真空邏輯閥通過控制閥門的開閉來實現(xiàn)對氣體流動的控制，從而達到控制真空度和氣體流量的目的。 真空邏輯閥的工作原理可以分為三個步驟：輸入信號、邏輯操作和輸出信號。首先，在輸入端通過熱陰極發(fā)射出一定量的電子流，經(jīng)過聚束系統(tǒng)匯聚成一束電子，然后進入邏輯電場。在邏輯電場中，電子束受到分流、聚合等操作，根據(jù)邏輯圖中所表示的邏輯進行計算，*后輸出到輸出端形成邏輯輸出信號。?
ZP2V-A5-03，ZP2V-A5-05，ZP2V-A5-07，ZP2V-A8-05，
ZP2V-A8-07，ZP2V-A8-10，ZP2V-A01-05，ZP2V-A01-07，
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